1�����g(sh��)��(y��u)��

����•��ԭ�������ȸߣ������L����(w��n)���Ժá�
0~30000ppmv���������y���@ʾ������(n��i)*��
ͨ�^�������о�����Ӌ(j��)�����a(ch��n)Ʒ�z����
ϵ�y(t��ng)�߂��Ԅ�(d��ng)�������ܣ���Ч�˷��ضȡ���ȵȭh(hu��n)�����ص�Ӱ푡�
��·�_�P(gu��n)��ģ�M��ݔ�����c�C��ϵ�y(t��ng)�o�p���ɡ�
���x�o����(b��o)������
���x����CO��CH4��H2S������O(ji��n)�y
���x�ⲿݔ����̖�ӿڣ�ݔ����̖�Ɂ��ԟ��F̽�^���T���_�P(gu��n)��
���xݔ���ӿڣ���(sh��)�F(xi��n)�Ԅ�(d��ng)119���(z��i)��(b��o)������/ͣ����C(j��)��늿��T�ȱ������ܻ����ƹ���
���x��(sh��)��ʽSF6�ܶ��^����Y(ji��)�ϽM�W(w��ng)���M��*��SF6���wй©�O(ji��n)��ϵ�y(t��ng)
���x�h(yu��n)�̾W(w��ng)�j(lu��)�M(j��n)�бO(ji��n)��ϵ�y(t��ng)�\(y��n)�Р�B(t��i)��ֱ�ӿ������C(j��)��׃�������\(y��n)��

2���a(ch��n)Ʒ���c(di��n)

*�Ĝyԇԭ��
    ϵ�y(t��ng)����•��ԭ�����ɶ�������(sh��)�r(sh��)�ھ��y��SF6й©���w�������˷��˂��y(t��ng)�y��������ؓ(f��)늕���늷����u�؂�������ֻ�ܶ����Єe�Ƿ�Խ�޵�ȱ�ݣ��܉��(zh��n)�_�õ����w��SF6������
�߿ɿ���
    ϵ�y(t��ng)�����p���̎����������Ч�˷��˜ضȡ���Ȍ��y���Y(ji��)����Ӱ푣������˂��y(t��ng)�a(ch��n)Ʒ��ȱ�ݡ�
������������
    �O(ji��n)��ܛ������������SF6���w����׃��څ�ݣ�����Ч�����\(y��n)���O(sh��)��Ġ�B(t��i)���������A(y��)�����ã��@Ҳ�ǂ��y(t��ng)���Ԯa(ch��n)Ʒ�o�������ġ�
���ؙz�y����
    ��Ҫᘌ�SF6���wй©��ȱ����r�M(j��n)�Йz�y�������Мضȡ���ȵȭh(hu��n)����(sh��)��(j��)���o���z�y���ܣ�*���ϡ�늘I(y��)��ȫ����Ҏ(gu��)�̡�Ҫ��
���ڬF(xi��n)����(b��o)�����g(sh��)
    ΢���z�y���g(sh��)�ܰl(f��)�����ڬF(xi��n)������(b��o)����ָʾ���wй©λ�ã����r(sh��)֪ͨΣ�U(xi��n)���c(di��n)��(n��i)�ˆT��ɢ�����Ҽ�����й©Դ�����o(h��)�\(y��n)���O(sh��)�䡣
�F(xi��n)�������O(sh��)Ӌ(j��)
    һ����|�B�����вɼ��������C(j��)���ɷ����ɽM�ϣ����кܸߵĬF(xi��n)���m��(y��ng)�ԡ�
���c(di��n)�M�W(w��ng)�z�y
    zui��128�c(di��n)ͬ�r(sh��)�z�y���M��F(xi��n)���h(hu��n)����Ҫ����ߙz�y�ɿ��ԡ�
�b�y���b��
    ϵ�y(t��ng)zui�����И�(bi��o)��(zh��n)�ӿڣ���(sh��)��(j��)��ͨ�^RTU���͵��h(yu��n)���������ģ���������Ҳ��ֱ���h(yu��n)�̲�ԃ������ϵ�y(t��ng)����(sh��)�F(xi��n)�b�y���b�ع��ܡ�
�O(ji��n)��ܛ��
    ���x�䣬���Д�(sh��)��(j��)�M�B(t��i)���D�νM�B(t��i)��������������(sh��)��(j��)��(b��o)�����vʷ��(sh��)��(j��)��ԃ�ȹ��ܡ�
�L�����O(sh��)Ӌ(j��)
    ������Æ�Ƭ�C(j��)�Ĺ����`���ԣ���������ȡ�gЪʽ�����y�����������˂������Ĺ�����(w��n)���Ժ�ʹ�É�����
 �vʷ��(sh��)��(j��)ӛ䛺Ͳ�ԃ
    ���C(j��)���д�������(sh��)��(j��)�惦(ch��)�����ɴ惦(ch��)2�ꔵ(sh��)��(j��)��ͨ�^�Pӛ����X�����O(sh��)�M(j��n)�п�ݲ�ԃ��
 �t��O(ji��n)ҕ����
    ���x�䣬�z�y�����ˆT�M(j��n)�빤���������Ԅ�(d��ng)�Z����ʾ��(sh��)�r(sh��)�z�y�Y(ji��)�����ӏ�(qi��ng)�F(xi��n)�������ˆT��ֱ�^���X��
��S�o(h��)�O(sh��)Ӌ(j��)
    �M�ĵ�늚��O(sh��)Ӌ(j��)�����C(j��)�o���{(di��o)��(ji��)�������ߵȼ���*��Ԫ�����x�ã���(y��u)���Ŀ��ɔ_���ܡ�

3�����g(sh��)����(sh��)

      SF6�y��ָ��(bi��o)
      �y��������0��30000ppmv
      ��(b��o)���c(di��n)�����ڜy��������(n��i)�O(sh��)�ã�Ĭ�J(r��n)1000ppmv
      �����`�±5%FS
      �؏�(f��)���`�<5%FS
      ���c(di��n)Ư�ƣ�<5%FS
      ����Ư�ƣ�<5%FS

      ����y��ָ��(bi��o)
      �z�y��ȣ�0��25%
      �����Ȉ�(b��o)���c(di��n)��18%
      ����y�����ȣ�<0.4%,O2��21%�r(sh��)

      ����ָ��(bi��o)
      �ضȜy�������� -25�� ~ +99��
      ��Ȝy�������� 0��99%RH