*�Ĝyԇԭ����ϵ�y����•��ԭ�����ɶ��������r�ھ��y��SF6й©���w�������˷��˂��y�y��������ؓ늕���늷����u�؂�������ֻ�ܶ����Єe�Ƿ�Խ�޵�ȱ�ݣ��܉�ʴ_�õ����w��SF6������ 
�߿ɿ��ԣ�ϵ�y�����p���̎����������Ч�˷��˜ضȡ���Ȍ��y���Y����Ӱ푣������˂��y�aƷ��ȱ�ݡ� 
�����������ܣ��O��ܛ������������SF6���w����׃��څ�ݣ�����Ч�����\���O��Ġ�B���������A�����ã��@Ҳ�ǂ��y���ԮaƷ�o�������ġ� 
���ؙz�y���ܣ���Ҫᘌ�SF6���wй©��ȱ����r�M�Йz�y�������Мضȡ���ȵȭh���������o���z�y���ܣ�*���ϡ�늘I��ȫ����Ҏ�̡�Ҫ�� 
���ڬF���󾯼��g��΢���z�y���g�ܰl�����ڬF�����󣬲�ָʾ���wй©λ�ã����r֪ͨΣ�U���c���ˆT��ɢ�����Ҽ�����й©Դ�����o�\���O�䡣 
�F�������OӋ�� һ����|�B�����вɼ��������C���ɷ����ɽM�ϣ����кܸߵĬF���m���ԡ� 
���c�M�W�z�y�� zui��128�cͬ�r�z�y���M��F���h����Ҫ����ߙz�y�ɿ��ԡ� 
�b�y���b�أ�ϵ�yzui�����И˜ʽӿڣ�������ͨ�^RTU���͵��h���������ģ���������Ҳ��ֱ���h�̲�ԃ������ϵ�y�����F�b�y���b�ع��ܡ� 
�O��ܛ�������x�䣬���Д����M�B���D�νM�B����������������������vʷ������ԃ�ȹ��ܡ� 
�L�����OӋ�� ������Æ�Ƭ�C�Ĺ����`���ԣ���������ȡ�gЪʽ�����y�����������˂������Ĺ��������Ժ�ʹ�É����� 
�vʷ����ӛ䛺Ͳ�ԃ�����C���д����������惦�����ɴ惦2�ꔵ����ͨ�^�Pӛ����X�����O�M�п�ݲ�ԃ�� 
�t��Oҕ���ܣ����x�䣬�z�y�����ˆT�M�빤���������Ԅ��Z����ʾ���r�z�y�Y�����ӏ��F�������ˆT��ֱ�^���X�� 
��S�o�OӋ�� �M�ĵ�늚��OӋ�����C�o���{���������ߵȼ���*��Ԫ�����x�ã������Ŀ��ɔ_���ܡ� 

���g���� 
�Ŀ ָ�� 
�y������ 0��30000ppmv 
���c ���ڜy���������O�ã�Ĭ�J1000ppmv 
�����`�� ±5%FS 
�؏����`�� <5%FS 
���cƯ�� <5%FS 
����Ư�� <5%FS 
�z�y��� 0��25% 
�����Ȉ��c 18% 
����y������ <0.4%,O2��21%�r 
�ضȜy������ -25��~+99�� 
��Ȝy������ 
0��99%RH