�� ��:
��(b��o)��ˮƽ���{(di��o)����(d��ng)й©�����^(gu��)�O(sh��)��ˮƽ����(b��o)������(d��ng)
���S��(bi��o)����SF6��R12��������������Ӳ��@�ԵĚ��w�����x��*
��(ji��n)�ε��Ñ��٘�(bi��o)������
�\��ˆδ_�����Ϡ�B(t��i)

�ء��c(di��n)��
��yʽ��ʹ�÷��� 
��Ӳ��@ECDԭ��
����푑�(y��ng)�ͻ֏�(f��)
��λй©�c(di��n)
������
�@ʾй©�ʻ���
RS232���д�ӡ�C(j��)�ӿ�
0-2 ��ģ�Mݔ��
�Ñ����{(di��o)�Ĉ�(b��o)��ˮƽ�O(sh��)��
�y(c��)��ֵ�惦(ch��)
��(ji��n)�ε��Ñ���(bi��o)������
��(n��i)�ù����\��
Q200��һ�_(t��i)��yʽ�x�������������䣬�Դ/���������ӻ�·����(n��i)�É��s���ƿ�����@����̽�y(c��)��λ�����ᘌʽ̽�^��(n��i)��ͨ�^(gu��)һ��2.5���L(zh��ng)����|�c���@����Ԫ���B�����ᘌʽ̽�^��Ԫ����һ�@ʾ����������ʹ���߱O(ji��n)ҕ�y(c��)����r����ʹ�ڜy(c��)�����y��λ����
���g(sh��)Ҏ(gu��)����
̽�y(c��)��ֵ
��й©�ʣ�1X 10-8mL/s SF6(���x����x��ë��(x��)�����̽�^���t��1x10-10mL/s SF6)
�⡡�ȣ�0.01 ppm
��y(c��)��������1X 10-8mL/s --1X 10-5mL/s��H���Y(ji��)Ƭ��1X10-10 mL /s --1X10-7mL/s
��ë��(x��)�����̽�^��1X 10-6mL/s --1X 10-3mL/s��L���Y(ji��)Ƭ��
��ߡ��磺���w��43X 40X 23 cms
���ء��������ᘌʽ̽�^��0.9����
����ӿ��Ɔ�Ԫ��12����
��̽�y(c��)����ECD΢����Ӳ��@̽�y(c��)��
��푑�(y��ng)�r(sh��)�g�� 1��
��֏�(f��)�r(sh��)�g�� 2��
���@��ʾ����(sh��)����ĸ�@ʾ����ml/sec, ppm, gm/yr��oz/yr�@ʾ
��⡡Դ����(n��i)��600�����߼��Ț��ƿ������100bar�����B�m(x��)ʹ��18��(g��)С�r(sh��)
����늳أ���늕r(sh��)�g10��(g��)С�r(sh��)���ɹ���8��(g��)С�r(sh��)